探针型号(探针型号对应尺寸)

探针型号尺寸对照表

根据用户检测样品具体参数需求,其中包括低温,高频,双面,晶圆标准型号.

探针型号解读

钨针根据不同的使用情况选用不同的尺寸规格。长度20mm—150mm直径0.5mm—10mm

探针型号DD和FF的区别

AFM电磁学工作模式

SHANGHAI

BOYUE

及

对应探针型号

PART.1

  ConductiveAFM  

导电原子力显微镜

 ConductiveAFM(cAFM) —导电原子力显微镜（CAFM）是一种源自接触AFM的二次成像模式，它表征了中到低导电和半导体材料的导电率变化。CAFM的电流范围为pA至μA。

PolyanilineonITO

PART.2

  TunnelingAFM  

峰值力隧穿原子力显微镜

TunnelingAFM(TUNA)—峰值力隧穿原子力显微镜（TUNA）的工作原理与导电AFM相似，但具有更高的灵敏度。TUNA表征了通过薄膜厚度的超低电流（80fA和120pA之间）。TUNA模式可以在成像或光谱模式下运行。

PART.3

ScanningCapacitanceMicroscopy

扫描电容显微镜

ScanningCapacitanceMicroscopy(SCM)—扫描电容显微镜（SCM）绘制了样品表面（通常是掺杂半导体）上大多数载流子浓度（电子或空穴）的变化。SCM向样本施加高频（90kHz）AC偏压，并使用超高频（1GHz）检测器测量尖端扫描样本表面时的*部尖端样本电容变化。这些电容变化是半导体中多数载流子浓度的函数；因此，相对载流子浓度可以映射在1016–1021 cm-3的范围内。

LaserDiodeCrossSection

PART.4

PiezoResponseMicroscopy

压电力响应显微镜

PiezoResponseMicroscopy(PFM)—压电力响应显微镜（PFM）是一种基于接触模式的技术，可绘制样品上的反向压电效应。对样品进行电刺激，并使用锁定技术监测样品的地形响应。振幅和相位信息揭示了关于样品上极化的强度和方向的信息。

PPLNPFMData

PART.5

ElectricForceMicroscopy

静电力显微镜

ElectricForceMicroscopy(EFM)—静电力显微镜（EFM）通过导电探针测量样品表面上方的电场梯度分布。表征样品表面的静电势能，电荷分布及电荷运输等。

Carbonblackparticles,3mmscansize

常用探针选型：

END

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德国Bruker微区X射线荧光光谱仪应用分享

科研采购大潮-布鲁克元素分析产品选型指南

直读光谱仪原理及应用介绍

探针型号怎么看

一、电子探针：是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针，激发试样中某一微小区域，使其发出特征X射线，测定该X射线的波长和强度，即可对该微区的元素作定性或定量分析。

电子探针可以对试样中微小区域(微米级)的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。还能全自动进行批量(预置9999测试点)定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便(相对复杂的化学分析方法而言)、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点。 

二、电子探针主要应用在：冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。

三、电子探针的原理

如图1所示。

利用电子探针分析方法可以探知材料样品的化学组成以及各元素的重量百分数。分析前要根据试验目的制备样品，样品表面要清洁。用波谱仪分析样品时要求样品平整，否则会降低测得的X射线强度。

1点分析

用于测定样品上某个指定点的化学成分。

下图是用能谱仪得到的某钢定点分析结果。能谱仪中的多道分析器可使样品中所有元素的特征X射线信号同时检测和显示。不像波谱仪那样要做全部谱扫描，甚至还要更换分光晶体。

2线分析

用于测定某种元素沿给定直线分布的情况。方法是将X射线谱仪（波谱仪或能谱仪）固定在所要测量的某元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，把电子束沿着指定的方向做直线轨迹扫描，便可得到该元素沿直线特征X射线强度的变化，从而反映了该元素沿直线的浓度分布情况。改变谱仪的位置，便可得到另一元素的X射线强度分布。下图为50CrNiMo钢中夹杂Al2O3的线分析像。可见，在Al2O3夹杂存在的地方，Al的X射线峰较强。

50CrNiMo钢中夹杂Al2O3的线分析像

3面分析

用于测定某种元素的面分布情况。方法是将X射线谱仪固定在所要测量的某元素特征X射线信号的位置上，电子束在样品表面做光栅扫描，此时在荧光屏上便可看到该元素的面分布图像。显像管的亮度由试样给出的X射线强度调制。图像中的亮区表示这种元素的含量较高。

定量分析时，先测得试样中Y元素的特征X射线强度IY，再在同一条件下测出已知纯元素Y的标准试样特征X射线强度IO。然后两者分别扣除背底和计数器死时间对所测值的影响，得到相应的强度值IY和IO，两者相除得到X射线强度之比KY=IY/IO。直接将测得的强度比KY当作试样中元素Y的重量浓度，其结果还有很大误差，通常还需进行三种效应的修正。即原子序数效应的修正，吸收效应修正，荧光效应修正。经过修正，误差可控制在±2%以内。

五、电子探针常见生产厂家及品牌型号：

厂家品牌

仪器型号

报价

岛津

EPMA-8050G

Cameca

SXFiveFE

/

日本电子

JXA-iHP200F

六、本期实验猫就为大家介绍上面上常见的岛津EPMA-8050G电子探针：

搭载最尖端场发射电子光学系统 将岛津EPMA分析性能发挥到极致

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。

当之无愧的“TheGrandEPMA”，最高水准的EPMA诞生！

实现微区超高灵敏度分析的先进技术

1　高亮度肖特基发射体 

场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。

2　EPMA专用电子光学系统 

电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的（日本专利：第4595778号）。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定最合适的打开角度，将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3　超高真空排气系统 

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

4　高灵敏度X射线谱仪 

最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。

高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。

良好的空间分辨率

EPMA可达到的至别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

二次电子图像至高分辨率3nm

碳喷镀金颗粒的观察实例。实现至高分辨率3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

大束流高灵敏度分析 实现3.0μA（加速电压30kV）的至大束流。全束流范围无需更换物镜光阑。

至多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪无人可及的52.5°X射线取出角。4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。至多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。

全部分析操作简单易懂 全部操作仅靠一个鼠标就可进行的可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

高灵敏度面分析

使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。准确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。

（以上信息来源于互联网）

探针型号汇总表格

   ONE-01

测试探针

    ONE-02

探针排连接器

1.多主栅4点探针法测量I/V

太阳能电池用四点探针法测量，与简单的两点探针法相比，这种方法使用单独成对电流传导和电压感应进行更精确的测量，电流和电压的分离消除了测量中的引线和接触电阻，这对于太阳能电池低电压大电流的精确测量是一个优势。

2.探针排3BB~6BB连接示意图

3.探针排连接器实物图

4. 探针排4BB电路连接示意图

上图为4BB端子连接方式，仅连接了Vfront，Ifront、Irear和Vrear必须以相同的方式进行连接。

5. 探针排5BB电路连接示意图

上图为5BB端子连接方式，仅连接了Vfront，Ifront、Irear和Vrear必须以相同的方式进行连接。

6. 探针排6BB电路连接示意图

上图为6BB端子连接方式，仅连接了Vfront，Ifront、Irear和Vrear必须以相同的方式进行连接。

7. 探针排连接器错误示意图

① 为了精确测量具有多条主栅的太阳能电池，每条主栅沿导线的压降必须相同，表示每根导线必须传输相同的电流。

上图显示了太阳能电池探针排与连接器的错误连接，由于一根测量导线连接了两条主栅，因此其电流是其他测量导线的两倍。

② 不要使用不对称插头位置，以下是通过6个插头连接到5根测量线上的6主栅电池的错误接线。